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作者: 来源: 发布时间:2018-11-28 点击量:

微传感智能系统开发团队(教师团队)

一、团队简介

微传感智能系统开发团队(教师团队),依托通用MEMS技术实验室”于2018年5月22日,组建了一支具有专业交叉背景的10人研究团队,“通用MEMS技术实验室”在中央支持地方高校改革发展专项经费200万元的支持下,目前建成了基于UV-LIGA工艺和非硅微加工技术结合的微系统设计及制造通实验室,主要实现工艺路线为:基片清洗系统—甩胶系统—光刻系统—显影系统—湿法刻蚀—溅射镀膜系统—电镀系统—其他辅助制造系统。团队现有人员10人,其中博士7人,硕士3人,平均年龄37岁。近5年来,共承担国家科研项目3项,省部级项目9项,累计项目经费300余万元。

团队近年来在IEEE/ASMETransactions on MechatronicsSensorsand Actuators A: PhysicalJ.Micromech.Microeng等高水平期刊发表论文60余篇,SCI检索13篇,EI检索40余篇,申请专利20项,软件著作权80余件。

曲靖师范学院特聘液态金属首席科学家,清华大学、中国科学院理化技术研究所双聘研究员刘静教授为学校荣誉教授,指导液态金属领域的应用开发研究工作。

团队专业分布涵盖材料、电子、机械、计算机和通讯等交叉学科背景,具有芯片设计与制造、信号分析与信号数字化处理、液态金属传感器设计、大数据与人工智能等方面的专业知识储备,在未来3-5年内着眼于智能检测系统设计和液态金属基因工程。

二、团队成员


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